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자원상세 정보

오제이전자분광기
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기본정보

기본정보 표로 자원분류, 자원명칭, 장소/위치, 제공기관, 담당자 정보, 예약방법, 예약문의, 이용대상, 준비시간, 신청서식, 이용정원, 심사여부, 이용요금, 미니홈페이지, 주차담당자 연락처를 상세히 나타낸 표입니다.
자원 분류 연구·실험장비 > 광학/전자영상   자원 명칭 오제이전자분광기  
장소/위치 서울특별시 성북구 화랑로14길 5 (하월곡동) 39-1 제공 기관 ZEUS 장비활용종합포털  
담당자 정보

 

예약 방법
예약 문의   이용 대상
준비 시간 없음 신청 서식  
이용 정원 문의   심사 여부 해당사항 없음.
이용 요금 요금안내문의 미니 홈페이지

편의정보

자원의 편의물품, 실내외 여부, 규모면적, 주차가능여부 등을 나타내는 표입니다.
실내·외 구분 등록된 정보가 없습니다. 규모 면적 등록된 정보가 없습니다.
주차가능 여부 등록된 정보가 없습니다. 제공 편의물품 등록된 정보가 없습니다.

상세설명

특징 :
오제이 전자 분광법 (Auger Electron Spectroscopy) 은 초고진공 상태에서 수백Å크기로 집속된 전자빔을 소재 및 부품(금속재료 및 반도체재료 등) 표면에 입사시켜 방출되는 Auger전자의 운동에너지를 측정함으로써 재료표면을 구성하고 있는 원소의 종류와 양을 빠르게 분석해 내는 표면분석방법으로써 시료의 표면에 존재하는 오염성분측정 다층박막 성분분석은 물론 나노미터 공간분해능으로 미세영역분석 및 표면의 2차원 화학조성 이미지 mapping을 통하여 표면의 성분분포를 알아낼 수 있다.

주의사항

이용후기

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