특징 :
오제이 전자 분광법 (Auger Electron Spectroscopy) 은 초고진공 상태에서 수백Å크기로 집속된 전자빔을 소재 및 부품(금속재료 및 반도체재료 등) 표면에 입사시켜 방출되는 Auger전자의 운동에너지를 측정함으로써 재료표면을 구성하고 있는 원소의 종류와 양을 빠르게 분석해 내는 표면분석방법으로써 시료의 표면에 존재하는 오염성분측정 다층박막 성분분석은 물론 나노미터 공간분해능으로 미세영역분석 및 표면의 2차원 화학조성 이미지 mapping을 통하여 표면의 성분분포를 알아낼 수 있다.