액체상태 또는 기체상태의 반도체 지질 환경 생체시료 중의 무기원소를 ppt이하 농도 수준까지 정확하게 정성/정량분석하는 자동화 분석장치로서 10000(10% valley) 이상의 질량분해능과 1x10^9 cps/ppm(In)의 감도를 구현
탑재하고 있는 Magnetic Sector Analyzer는 소수점 둘째자리까지의 정확한 질량분리능(0.005amu)을 가지므로 기존장비의 분리능(0.3amu Q ICP-MS)에서 발생하는 동일분자량의 간섭물질을 특별한 전처리 과정이나 쪼개짐 반응 없이 완전히 분리해낼 수 있다. 뿐만 아니라 타 장비에서는 분석물질의 종류에 따라 서로 다른 별도의 분리/정제과정 및 복잡한 Test Method를 잡아주어야 하는 불편함이 있었지만 상기 장비는 고분해능 기능으로 인하여 별도의 전처리 및 Test Method과정이 필요치 않아서 보다 빠르고 고효율로 정확한 정성/정량 결과를 얻을 수 있다.