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이차이온 질량분석기
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이차이온 질량분석기
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자원 분류 연구·실험장비 > 화합물전처리/분석   자원 명칭 이차이온 질량분석기  
장소/위치 서울특별시 성북구 화랑로14길 5 (하월곡동) 39-1번지 제공 기관 ZEUS 장비활용종합포털  
담당자 정보

 

예약 방법
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이용 정원 문의   심사 여부 해당사항 없음.
이용 요금 요금안내문의 미니 홈페이지

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상세설명

특징
- AES XPS 그리고 Static SIMS도 깊이방향의 원소분포분석이 가능하지만 Dynamic SIMS는 보다 많은 이온으로 깊이방향 분석을 수행하기 때문에 분석시간이 상대적으로 짧아 단층 깊이에 대한 정보를 신속히 얻을 수 있는 장점이 있다. 또한 Static SIMS와 달리 분석하고자 하는 이온을 연속적으로 검출하기 때문에 수 ppm의 검출한계를 가지는 장점이 있다. 또 ESA(Electrostatic Analyzer)와 Magnetic Sector가 이중으로 달려있어 높은 질량 분해능을 실현할 수 있다.

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