고정밀도 분석을 위하여 구조를 설계한 상면 조사 타입의 순차 분석형 형광 X선 장치 :이 장비는 시료에 함유되어 있는 원소의 정량 및 정분석을 위한 장비로 컴퓨터로 전자동 조절이 가능한 파장 분산형 X-선 분석기로 4Be ~ 92U까지 원소 분석이 가능.
신 분광 결정 적용하여 B C 등 초경원소의 고감도화로 종래 분광 결정대비 2배 이상의 강도증가를 실현. CCD 카메라를 탑재 가능해 시료를 화면상에서 분석 위치를 지정하고 Mapping 측정 또는 오염 부위 측정이 가능.